原帖由 kievuser 于 2010-8-14 22:41 发表 ![](http://www.camgle.com/images/common/back.gif)
网上搜的缩微镜头的资料.
【关键词】: 高分辨率 大视场 集成电路 制版工艺 物镜 精缩 关键元部件 大规模 光学参数 大学工程
【DOI】:CNKI:SUN:ZYQB.0.1981-01-023
【正文快照】:
精缩制版物镜是集成电路掩膜制 ...
还有........
【摘要】:正 福建某厂为适应半导体器件生产和工业电视发展的需要,最近试制并生产了CSD-55大视场初缩制版镜头和DSW-28A微光电视镜头。同时正在试制半导体器件生产急需的JF-1:1e谱线投影复印机。现将有关规格分别介绍如下:1.CSD-55大视场初缩制版镜头用于大规模集成电路初缩制版。经有关单位实拍鉴定可以满足φ2200mm大规模集成电路初缩制版的需要,整个视场实拍分辨率在10微米以内。主要指标:焦距f'=58mm;相对孔径D/f'=1:4(对φ1600最 表 3-1 各种颜色代表线
颜色红黄绿兰紫 谱线代号 A ′ C D d e F g G h 元素钾双线
中间值 H 钠双线
中间值 He Hg H Hg H Hg 。
波长( A ) 7682 6563 5893 5876 5461 4861 4358 4340 4047 |